Vakuumspannplatte für Wafer

Oktober 2005 |

Sehr präzise Vakuumspannplatten aus luftdurchlässigem Aluminium, deren Ober- und Unterseiten plan bearbeitet wurden. Diese Chucks werden zum Messen von Wafern eingesetzt. Die fünf Spannbereiche ermöglichen das Halten fünf unterschiedlicher Wafer-Größen. Die Toleranz beträgt 0,005mm (5 µm).

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